【聚焦】電鏡渦輪分子泵在高端電鏡中不可或缺 我國自給能力有望不斷增強
渦輪分子泵在電子顯微鏡中，可用于樣品臺、進出樣室、電子槍等多種零部件真空環境形成與保持方面，需要同時滿足高極限真空與低振動要求。
渦輪分子泵是一種真空泵，電鏡渦輪分子泵是應用在電子顯微鏡（電鏡，EM）真空系統中，利用高速旋轉動葉輪使氣體定向流動從而抽氣形成真空環境的裝置。
包括掃描電鏡、透射電鏡、掃描透射電鏡、場發射電鏡、聚焦離子束電鏡等在內的多種電子顯微鏡，其電子槍、電子透鏡、探測器、樣品臺等零部件均需要工作在真空環境中，需要采用真空泵來形成真空條件。電鏡真空泵主要包括機械泵、油擴散泵、渦輪分子泵、離子泵等類型。
根據新思界產業研究中心發布的《2024-2029年中國電鏡渦輪分子泵行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，常規電鏡一般采用機械泵與油擴散泵組合即可滿足真空度要求；真空度要求高的電鏡則需要采用機械泵與渦輪分子泵組合；超高真空度的場發射電鏡則需要采用機械泵、渦輪分子泵與離子泵組合，其真空度可達到10-7Pa以上。
電子顯微鏡真空度直接影響核心零部件電子槍的使用壽命以及最終成像質量。電子槍燈絲在空氣中會氧化，進而縮短壽命，或者因真空度不足電子槍柵極、陽極間放電，導致燈絲燒斷；受空氣分子散射影響，電子束達到樣品表面的比例下降，導致分析效率降低，同時還會導致分析結果真實性降低。因此，渦輪分子泵在高真空度及超高真空度的高端電鏡領域不可或缺。
渦輪分子泵在電子顯微鏡中，可用于樣品臺、進出樣室、電子槍等多種零部件真空環境形成與保持方面，需要同時滿足高極限真空與低振動要求。在一臺高端掃描電鏡中，包含電子槍的鏡筒配置離子泵，樣品臺、進出樣室配置渦輪分子泵，使其工作環境一直維持在真空條件下。
新思界行業分析人士表示，在海外市場中，電鏡渦輪分子泵生產商主要有美國安捷倫（Agilen）、英國愛德華（EDWARDS）、德國普發（Pfeiffer）等。Agilen推出的TwisTorr系列渦輪分子泵，采用AFS懸浮軸承技術，工作時振動極低，在全球多款電子顯微鏡上被采用。EDWARDS推出的nEXT系列分子泵，具有高真空、分流、低振動特點，可應用于不同類型電鏡中。
在我國市場中，中科科儀于20世紀70年代成功研制了國內首臺立式渦輪分子泵。現階段，我國渦輪分子泵生產能力不斷提升，但國產產品在穩定性、可靠性方面與國外產品相比還存在一定差距，電鏡渦輪分子泵作為高端產品，需求還需依靠進口。我國渦輪分子泵研制實力進步迅速，突破了磁懸浮等關鍵技術，電鏡渦輪分子泵自給能力有望不斷增強。
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