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預見2020:2020年中國離子注入機產業全景圖

2020-08-14 14:24
前瞻網
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企業分析——中美日三國領銜

全球離子注入機的領先企業主要分布在中國、美國和日本,其中,中國大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機行業的龍頭企業,其中凱世通在光伏離子注入機方面遙遙領先。而美國則擁有近乎壟斷IC離子注入機市場的應用材料,以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機知名廠商。

圖表9:離子注入機相關領先企業

但我國企業在IC離子注入機制造方面距離世界頭部企業仍有一定的距離,離子注入機研發進度仍待加快。

我國離子注入機相關領先企業技術進展情況如下所示:

圖表10: 我國刻蝕設備相關領先企業技術進展情況(單位:nm)


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